简介:对比了ICP刻蚀和湿法腐蚀制备台面型InP/InGaAs雪崩光电二极管(APD)时侧壁、表面形貌的不同,以及对暗电流和击穿电压的影响。在Cl2/Ar2/CH4条件下感应耦合等离子体(ICP)刻蚀InP会出现表面粗糙,对其原因进行了探究。并主要对ICP的刻蚀时间和刻蚀功率进行了优化,提高刻蚀表面的温度,保证了刻蚀的稳定性并改善了InP刻蚀表面的形貌,确定了稳定制备APD器件的刻蚀条件,最终制备出性能优良的台面型APD器件。
简介:TG156.9999020920低碳钢表面Cr—Ni激光合金化的耐蚀性=Corrosionresistanceoflowcarbonsteelsurfacebylaserbeamalloying[刊,中]/俞素芬,于淑敏,孙艳丽(吉林工学院.吉林,长春(130012)),姚远(长春市汽车材料研究所.吉林,长春(130011))∥焊接.—1998,(7).—9-11,25研究了低碳钢表面Cr—Ni激光合金化工艺,并对处理后的合金层组织与性能进行了测试分析。结果表明,Cr—Ni激光合金化可获得一特殊的显微组织形态,它不但具有高的硬度,而且有极强的耐蚀性,由于激光的作用,使低碳钢的基体也产生了一定的强化效果.图4参3(严寒)TG156.9999020921电介质对高温合金激光表面强化的增韧作用=