简介:首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。
简介:摘要:本文旨在研究我国电子信息产业集聚的影响因素,并分析其优势和挑战,提出相应的发展战略。首先介绍了我国电子信息产业的现状和特点,包括地理分布、产业结构和产业链价值链等。接着,从市场、政策、人才、技术和环境等多个方面分析了我国电子信息产业集聚的影响因素。在此基础上,分析了我国电子信息产业集聚的优势和挑战,提出了政府引导、企业发展、人才培养和技术创新等方面的发展战略。最后,总结了研究结果,并提出了未来的研究方向。