学科分类
/ 5
87 个结果
  • 简介:半导体芯片的生产主要依靠化学机械抛光(CMP)工序使硅片表面平坦化,使复杂的集成电路能非常有效地工作。做为电路设计不可避免地趋向于采用高度集成和多层结构。故化学机械抛光技术必须紧跟其需要与发展。化学机械抛光垫性能的关键是采用金刚石化学机械抛光垫修整工作时,抛光垫工作寿命期间,必须保持恒定的抛光效果。

  • 标签: 修整器 化学机械抛光 抛光效果 金刚石 表面 石化
  • 简介:本文基于三轴磁阻传感HMC5983设计了磁记忆检测探头,研制了基于USB2I2C控制模块的二维金属磁记忆检测系统,以45钢为试验对象开展了金属磁记忆试验研究。通过分析磁记忆二维分量以及其微分分量合成的李萨如图大小,确定试件中存在应力集中的严重程度,试验结果表明:磁记忆二维检测不仅能够准确定位试件中应力集中的部位,而且能够从梯度变化角度对应力集中严重程度进行预判评估。

  • 标签: 磁记忆检测 应力集中 李萨如图 定量评估
  • 简介:通过大唐三门峡二期工程2×600MW超临界机组4~#机的施工,从组合方案、焊接工艺、热处理工艺的角度对哈尔滨锅炉厂生产的HG-1900/25.4-YM4锅炉的高温再热安装工艺进行总结,介绍如何在保证施工质量的前提下减短工期,加快生产进度。

  • 标签: 高温再热器 组合 焊接
  • 简介:以CO为还原剂,进行中试规模的TiO2氯化。在CO和Cl2存在的条件下,对半连续流化床反应中的TiO2氯化过程进行实验分析和模拟。通过测量TiCl4生成量随时间的变化,连续监测氯化过程。系统研究氯化温度、原料粒径和粒度分布、原料量、Cl2和CO流速等操作参数对转化率的影响。逐渐升高氯化温度导致转化率单调上升。随着原料粒度的增大,转化率降低,负载量的增加导致反应转化率下降。提出一个预测反应过程中转化率、粒径分布和气相组分摩尔分数的模型。在不同的操作条件下,模型预测的转化率与实验数据吻合良好。

  • 标签: 氯化 TICL4 模拟 粒度分布 转化