简介：
简介：管式反应器中，在水蒸汽或氧气氛中，300-1000℃温度下，含C1-6的全氟化碳化合物(如CF4，C2F6或C4F10)的废气，与Al，B，碱土金属，V，Nb，Cr，Mn，Fe，Co和／或Ni的磷酸盐反应，反应时间2—24小时，可将该废气处理。
简介：该生产方法包括：未反应的陶瓷材料生成生陶瓷，测定生陶瓷的孔隙体积，在要求的范围内与生陶瓷反应所需要的磷酸的量，制备磷酸和载体液组成的浸渍溶液，其中磷酸／载体液的比例为：(1)测定出的与生陶瓷反应的磷酸体积／(2)生陶瓷的孔体积减去测定出的反应所需要的磷酸体积，即等于载体液体，用浸渍溶液浸渍生陶瓷，焙烧浸渍过的生陶瓷，最后得到磷酸盐粘合陶瓷。
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