简介:提出了一种亚微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析;用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案;观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案;用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺。结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高。
简介:燃油流量调节器是航空发动机主燃油系统的核心部件,为发动机提供动力。本研究提到的燃油流量调节器是通过感受发动机转速、油门杆角度、高压压气机进、出口压力、高压压气机出口温度、涡轮后燃气温度等输入信号调节产品内部可变计量柱塞套筒组件和加速控制器套筒组件的型孔开度,调整高压泵随动活塞两端压力差,从而调整高压泵斜盘角度,最终改变燃油流量。燃油流量调节器在试车过程中经串装发动机后仍存在流量不稳故障,通过分析计算燃油流量调节器的可变计量柱塞套筒组件、P3P压力变化、飞重、温度补偿机构、转速控制套筒计量刃边等对流量变化的影响,并通过产品试验及与发动机配试,确认了燃油流量调节器流量不稳性能故障的原因。通过细化可变计量柱塞工艺方法提高表面光洁度、调整飞重装配侧隙提高抗污染能力、控制温度补偿机构及转速控制套筒部分零组件的形位公差提高运动灵活性以及明确燃油流量调节器再调活门的清洗周期等措施,可提高燃油流量调节器流量稳定性。