简介:在亚微米工艺中,多晶栅TiSi工艺是降低接触电阻的常用方法。但是TiSi的生长与衬底的掺杂浓度相关,对多晶栅的掺杂剂量有很高的要求。由于光刻工艺中存在的套刻偏差,使得后续源漏注入剂量会在多晶栅上有所偏差,影响了后续TiSi在多晶栅上的生长。文章采用多晶栅上生长一层LPCVDSiN作为掩蔽层的方法,避免了由于光刻套刻偏差引入的注入剂量偏差,改善了后续多晶栅上TiSi的生长。通过对As注入和P注入在不同SiN厚度掩蔽层下穿透率的研究发现40nm左右基本可以阻挡95%的N+S/DAs注入剂量而保留80%的多晶栅P注入剂量。该种掩蔽层方法有很多优点:源漏注入的条件不用更改;多晶栅注入的可调节剂量范围大大增加,可以更好地保持重掺杂多晶栅特性。
简介:对智能交通系统(ITS)短时交通流量预测问题进行研究,提出了一种联合FCM与群集蜘蛛优化SVR交通流量预测算法。首先采用FCM聚类方法对交通流量数据预处理,得到基于时间节点分割的时序数据模块,有效降低了数据差异性带来的误差影响;然后构建基于群集蜘蛛优化SVR模型,针对SVR参数选择难题,在群集蜘蛛优化算法中引入社会等级制度,动态的将蜘蛛种群划分为上中下三个阶层,并根据不同阶层个体适应度大小,分别设计自适应竞争、"快搜"以及逆向学习机制,提高了算法寻优精度;最后,运用群集蜘蛛优化SVR对各个交通流量数据时序模块进行预测评估。仿真结果表明,同其它预测算法相比,该算法预测平均绝对误差降低了38.4-53.8%。
简介:摘要现阶段,随着社会的发展,我国的科学技术的发展也有了很大的进步。在国有企业的发展过程中,财务管理一直扮演着极为重要的角色。众所周知,财务管理决策亦在财务管理中发挥着极其重要的作用,直接影响着国有企业的发展趋势。按照现阶段的发展情况来看,我国大多数的国有企业在展开财务管理这项工作时,由于遭受多项因素的干扰,导致经常会出现资本管理不够深入和管理方式不正确等现象,进而对国有企业的发展和运行造成了一定的阻碍作用。所以,这就意味着一定要严格与市场发展需求相对应,尽可能地提高企业运用资金的效率,完善企业的财务管理决策方式,提高企业的财务管理能力,促使国有企业的财务管理工作得以顺利开展。下面本文主要围绕完善国有企业的财务管理决策展开了详细的探究和分析。
简介:基于低能量自适应簇层(Lowenergyadaptiveclusteringhierarchy)协议,提出面向能量采集WSNs的基于优化工作周期的簇协议,记为DC-LEACH。DC-LEACH协议利用工作周期(dutyCycling,DC)技术对LEACH协议进行改进。首先,给簇头选择设置DC,并保证簇头CH的比例。然后,基于节点的能量采集率和数据包到达率优化数据传输的DC,使得节点能够调整数据传输的工作周期,进而维持能量中和操作(EnergyNeutralityOperation,ENO),最终延长网络寿命。最后,分析了最优簇头CH数。仿真结果表明,提出的DC-LEACH协议在吞吐量和网络寿命方面的性能优于EA-LEACH和C-LEACH协议。