简介:针对硅微振梁式加速度计输出频率随环境温度漂移的问题,提出了抗温漂的硅微结构设计方法及相关工艺,降低了环境温度对输出的影响,在室温条件即可达到一定精度。通过建立“硅-玻璃”和“玻璃-陶瓷”耦合模型,分析了造成硅微振梁式加速度计温度漂移的原因。然后提出了“抗温漂耦合设计”的微结构和“半粘结封装”的封装工艺,降低了耦合模型中的理论温漂。利用加工出的原理样机进行实验,结果显示,采用抗温漂结构设计及封装工艺的原理样机,输出频率的温漂系数为-3.5×10-6/℃,室温下零偏稳定性为72.0μg。实验验证了抗温漂理论的可行性,可以满足室温下高精度硅微振梁式加速度计的设计要求。
简介:摘要锅炉作为推动国民经济增长的重要基础工业设备,具有能耗高、危险性大的特点,特别是近年来其容量、蒸汽参数等不断提升,而生产、设计、材料冶炼、运行监控等方面的发展相对滞后的特殊情况下,锅炉的危险性更是受到社会各界的高度关注,随着可持续发展战略的逐步落实,锅炉节能减排的问题也逐渐显现,本文为对锅炉全生命周期安全高效运行和节能减排产生更加全面的认识,推动我国锅炉安全性和节能性的提升,对两个方面分别展开研究。
简介:采用微波消解技术对工业锅炉用水进行前处理,建立了微波消解-电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定工业锅炉用水中钙、镁、铁、铜含量的分析方法。分别对样品的微波消解温度和保持时间进行讨论,优化了微波消解前处理技术。结果表明,给水在消解温度为170℃,保持时间为10min,回水在消解温度为180℃,保持时间为12min,锅炉水在消解温度为185℃,保持时间为15min的条件下,微波消解最理想。对锅炉用水中钙、镁、铁、铜进行测定,线性范围均为0~6.0mg/L,检出限分别为0.002、0.002、0.003、0.004mg/L,加标回收率为96%-105%,相对标准偏差RSD(n=7)均小于9.3%,与原子吸收光谱(AAS)法测定结果进行比较,测定结果基本一致,满足测定准确度要求。