简介：摘要本文主要从电子束的光刻系统、2ZEP520A正性的抗蚀剂基本工艺条件这两个方面入手，分析了电子束的光刻技术。同时，从ICP刻蚀装置基本架构及特征、运行原理、ICP刻蚀的参数影响这三个方面入手，分析了ICP的刻蚀技术。从而能够让广大专业的技术人员全面了解与掌握电子束的光刻技术、ICP的刻蚀技术，不断提高电子束的光刻与ICP的刻蚀技术专业水平，以为微电子的集成领域后期发展提供强大的技术支持及保障。

简介：

简介：电子束熔炼（EBM）是一种快速制造工艺，它用逐层制造法制成密实度与锻造件完全相同的零件。在一层钛粉膜熔化并凝固后，下一层钛粉膜重复施行，直至整个零件制成。对于像宇航之类的工业部门，这一技术为制造钛零件样品及小批量产品提供了方便。

简介：

简介：摘要：本文以英国CVE电子束焊机XW150:15设备在焊接过程中出现的束斑异常情况为依据，图文并茂地描述了异常现象，深入细致地分析异常现象的成因，希望会对同类设备的技术改进和设备恢复提供一定参考，进而提升设备性能。

简介：目前有机气体污染物的净化方法主要存在控制难度大、能耗高、要求气体纯度高等缺点，尚需开发新技术。在挥发性有机化合物中，甲苯是很具代表性的物质，也是被美国ASHRAE推荐为测试气体过滤净化设备性能的模型化合物。国内利用电子束辐照处理甲苯气体的文献很少。文中对甲苯有机废气进行静态实验，初步研究了电子束辐照处理芳香类有机物甲苯的效果，分析了辐照分解产物。

简介：为有效加固秦俑彩绘,选择单体渗透、电子束辐照加固方法进行保护.在最佳辐照加固条件:以2-羟基甲基丙烯酸乙酯为单体,用1MeV2.0mA60kGy电子束辐照可有效地加固秦俑彩绘层.加固后的陶俑表面没有出现光泽,彩绘层颜色鲜艳如初,生漆层、颜料层也再无起翘、脱落现象,干燥、自然.

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简介：介绍了压气机盘－彭材料的焊接性，焊接接头的力学性能与形式，盘－鼓电子束焊接工艺及尺寸精度测量数据。

简介：通过设计并运用一种直流电子束轨迹简易测量方法,开展了永磁约束电子束轨迹实验研究,得到了永磁铁环对60~80keV电子束约束作用的实验数据。结果表明：该测量方法方便有效,结果较为准确;永磁铁对电子束聚焦作用明显,并呈现出一定的规律性。对永磁铁约束电子束研究工作奠定了基础。

简介：摘要电子束焊是一项高精密的焊接技术，它具有电子束穿透力强、焊缝熔宽比大、焊接速度快、热影响区小、焊接变形小等特点，逐渐代替了以往的加工方法和生产流程，应用日益广泛。本文介绍了电子束焊接特点和原理及分类，并重点分析了电子束焊接隔板的制造方法和焊接参数对焊接质量的影响。

简介：摘要伴随着经济的日新月异的变化，我国各个行业的也得到了充足的发展，使得我国各个行业的发展都呈现了欣欣向荣的局势。在工程行业内，被称为“希望金属”的铝的产业一直是国家重点发展的“潜力产业”，所以铝产业的发展速度较其他行业快，且颇具规模。针对目前全球性的资源匮乏的局面，环境保护、能源可持续发展、生产安全等问题面临着新的挑战。铝产业在一定程度上可以缓解目前的巨大压力，为我国的工业发展提供强有力的资源支持。铝产业中铝合金电子束焊接技术是业内人士较为关注的关键技术，本文将对这一技术展开叙述。

简介：摘要常温下，金属钽、铌的化学活性很小，仅能与氢氟酸等少数几种物质反应，但随着温度的增加，钽、铌的活性迅速增加，特别是在高温下，钽、铌可以与许多物质发生剧烈反应。钽、铌在熔炼温度下能和许多元素，包括耐火材料(各种氧化物)起化学反应。因此，钽、铌熔炼必须在真空中或在惰性气氛保护下进行。真空中即在低于常压下进行的冶金工艺称为真空熔炼，在此熔炉过程中，可同时去除一些杂质，提高钽、铌的纯度。真空熔炼的温度要超过基体金属熔点150~300℃。故钽、铌的熔炼温度一般在2800~3300℃。在真空熔炼时，还需要解决另一个难题，即寻找一种冷凝器(或结晶器)。在高温熔炼时找不到一种不与钽、铌反应的材料，包括各种氧化物耐火材料。实践中，采用水冷铜坩埚控制坩埚的温度，使熔炼时钽、铌与铜不发生反应，保持惰性，使钽、铌熔融在水冷炉床上并安全地冷凝在水冷铜坩埚中。

简介：摘要：在空间飞行器中，异种金属焊缝结构的疲劳损伤是制约其安全可靠运行的关键因素之一。在此基础上，研究不同类型的铜/不锈钢异种金属焊缝的疲劳性能及失效机理。采用 SEM对焊缝微观结构及化学组成进行表征，采用 ELSD、 ELSD等方法测定焊缝的机械强度，采用 SEM对焊缝在不同循环条件下的裂纹形态及裂纹形态进行研究。试样在疲劳破坏时，高周与低周破坏时，其裂纹来源数目不同，但都容易从最细横断面开始，并逐渐向铜基体内蔓延。

简介：目前治理低浓度甲苯废气的传统方法还存在很多问题，还需研发新的治理技术，为此，进行了电子束辐照处理甲苯的动态实验。

简介：摘要电子束技术在二十世纪初就已经发明出来，由于电子束技术的众多优点，电子束技术现在已经被应用在焊接领域中，在我国焊接领域的发展过程中，电子束焊接技术正在不断的应用和发展创新过程中，在我国机械材料焊接的过程中电子束焊接技术的应用更是非常广泛，文章主要针对现代焊接技术中的电子束焊接技术进行详细的阐述以及分析，希望通过文章的阐述以及分析能够有效的提升我国电子束焊接技术的应用以及发展，同时也为我国机械行业的焊接技术的进一步提升贡献力量。

简介：摘要：真空电子束焊是在真空状态下利用空间会聚的高速电子流，在撞击工件后将部分动能转化为热能，从而使被焊工件熔化实现焊接。具有焊缝深宽比大、焊接速度高，热影响区小，焊接变形小等优点。航天器产品焊缝一般采用电子束焊连接方式，焊缝结构通常采用锁底接头和对接接头。本文主要分析新型焊接接头电子束焊工艺研究。

简介：摘要：本文将介绍精密数控电子束焊接机的结构、主要技术参数和特点，特别强调新机器的设计原则、特点和一些主要技术问题的解决方案。

简介：摘要：在我国机械焊接的领域中，由于焊接件以及被焊接件的材质以及形式在不断的变化过程中，导致了我国传统形式水上的焊接技术，虽然仍然在应用，但是已经越来越不适应新材料的焊接要求，因此我国的焊接领域在不断的进行焊接技术的创新和发展。本文先分析电子束焊接技术的特点及分类，其次探討现代焊接技术中的电子束焊接技术。

简介：介绍了电子束辐照机理,概述了电子束辐照降解有毒有害和难降解的有机污染物、去除重金属离子等方面在水处理中的研究和应用现状,最后对电子束辐照和其他的水处理工艺进行了比较,指出了其操作方便、安全的特点,并对其在水处理中的应用前景进行了展望.