简介：秋风凛冽，满地都是掉落的黄叶。望着眼前被秋风卷起的落叶，我的思绪一下子又飘回到了十多年前的那个晚秋。
简介：芯片制造厂在清洗、蚀刻和沉积工序中大量使用化学药剂和特殊材料气体。为了芯片制造厂的职业健康风险防控，利用计算流体模拟软件Fluent研究芯片制造厂的金属蚀刻反应腔在保养期间HCl的逸出扩散规律。通过模拟给出洁净室内的速度场分布以及HCl浓度场分布规律，按照工作场所有害因素职业接触限值确定划分防控的3级区域——职业接触管制区域、职业限制区域、安全区域，从而为职业防控措施提出建议。
简介：
秋殇
芯片厂蚀刻机台有害气体HCl的逸散数值模拟研究
汪谈冶金露天采选水土流失与对策
