简介：依据感应耦合等离子体的刻蚀机理,对影响刻蚀的两个重要参数及先进的硅刻蚀技术进行了较深入的研究,并对影响刻蚀效果的参数进行了实验研究,刻蚀出了20μm深,2μm宽的谐振器结构,得到了最佳的工艺参数.

简介：介绍了朗缪尔探针法测等离子参量实验的基本原理。分别利用两种方法对等离子参量进行测量，对实验数据进行处理、计算，并对结果做了分析、讨论。

简介：运用等离子喷涂技术制备多层屏蔽复合涂层，根据钽、钨、锡材料的物理特性及工艺特点，分别设计了自动喷涂工艺，既保证了涂层的性能，又提高了喷涂工艺的重复性；在喷涂区域使用氩气保护装置制造局部隋性气氛，简便有效地控制了涂层材料在高温等离子体喷射过程中的氧化：综合使用温度测试、力学拉伸、金相组织及化学成分等分析方法，综合考虑优化喷涂功率、喷涂距离等喷涂参数对基体温度、涂层中氧化物含量、涂层密度的影响，优化喷涂工艺参数，制备出厚度均匀、绢织致密的Ta／W/Sn复合涂层。

简介：低温等离子体技术(LowTemperaturePlasmatechnique，LTP)是近年来发展较快的一门材料表面改性技术，本研究采用LTP技术对氟橡胶进行表面改性，考察了改性后的氟橡胶应用于三氨基三硝基苯炸药(TATB)为基的PBX体系中(TATB-PBX)对PBX力学性能的影响，结果表明将LTP技术运用到PBX中，对提高PBX的综合性能是行之有效的。

简介：介绍了使用2.45GHZ微波源激励产生常压等离子体射流（MPJ）的装置，该装置结构简单，使用可靠，实验内容丰富，适合教学要求。

简介：微波等离子体光源是一类重要的有较强激发能力的原子发射光谱光源，主要包括微波感生等离子体光源，电容耦合微波等离子体光源及微波等离子体炬光源。本文是微波等离子体光谱技术发展的第二部分，主要介绍了电容耦合微波等离子体光源及微波等离子体炬光源的结构原理和性能。并对它们的技术特点和进展进行评述。

简介：微波等离子体光源是一类有较强激发能力的原子发射光谱光源，主要包括微波感生等离子体光源（MIP），微波电容耦合等离子体光源及微波等离子体炬光源。文章分两部分，第一部分介绍了微波感生等离子体光源的结构原理和性能，并对它们的技术特点和进展进行评述。低功率微波感生等离子体光源用于直接测定溶液中某些痕量金属元素是比较困难的，如Pb，Hg，Se等元素，但它已成功地与气相色谱联用用于测定C，H，O，N，S等难激发的非金属元素。高功率磁场激发的氮一微波感生等离子体光源（N2-MIP），允许使用通用玻璃同心雾化器产生湿试液气溶胶直接进入等离子体核心，等离子体能稳定运行，其分析性能近似于商用ICP光源，且运行费用低廉，是有发展前景的一种新型原子发射光谱光源。

简介：阳极杆箍缩二极管产生的X射线焦斑小,达亚mm量级,且焦斑位置稳定,是一种理想的闪光X射线照相加速器二极管.但是,由于其工作阻抗较高(约40～60Ω),导致无法与大电流低阻抗的脉冲功率源匹配.通过预先向二极管中注入等离子体,可以降低二极管最初工作阶段的阻抗,实现与低阻抗驱动源的匹配.预充等离子体的密度直接影响二极管的工作状态,特别是对等离子体鞘层和空间电荷限制流的形成具有较大影响.采用理论分析和数值模拟相结合的方法,对预充等离子体阳极杆箍缩二极管的工作过程和等离子体密度对二极管的电子束箍缩特性进行了分析,结合“剑光一号”加速器水线输出参数(峰值电压为1MV),给出了合适的预充等离子体的密度范围为1015～1016cm-3.

简介：研究了丝阵负载Z-pinch的气化及电离过程、等离子体形成及融合过程、等离子体的不稳定性及其发展、先驱等离子体的产生机制及其辐射特性、双层丝阵负载内外层丝阵等离子体的内爆碰撞辐射过程、内爆聚心时刻X光辐射快速变化过程及能量转换机制。在“强光”1号、俄罗斯S300及ANGARA-5-1装置上获得了较全面地反映内爆物理过程的实验结果。

简介：光谱光源是光谱仪器和光谱技术的核心,等离子体光源是原子发射光谱技术的活跃领域之一,电感耦合等离子体(ICP)已成功地应用于原子发射光谱和无机质谱仪器。由于ICP光源采用氩气作为工作气体,耗量较大,降低氩气用量成为近些年来原子光谱技术研究和改进的重要目标。为此目的,已研究过各种低耗氩ICP光源,非氩气ICP光源,微波等离子体光源,射频电容耦合等离子体光源等。综述了近年这些等离子体发射光源的结构,分析性能及特点,以及它们所用工作气体情况。并归纳总结出,评价各种等离子体发射光谱光源应包括:等离子体温度(激发温度,气体温度),电子密度,工作气体种类及用量,元素检出限,光源的稳健性及经济方面等。

简介：采用二次量子化的方法求解等离子体凝胶模型下的基态能量,并计算出微扰对基态能量的一级修正,计算结果接近于实际金属。

简介：射流是自然界中的一种普遍现象。在惯性约束聚变（ICF）、天体物理的研究中，射流也是其中重要的过程，对射流的研究是相关领域中的重要研究内容之一。在实验室，利用高功率激光模拟相应的射流过程，并进行实验诊断，获得的结果对ICF的理论研究以及校验相关程序，具有重要价值。

简介：介绍了低气压下直流辉光放电等离子体的实验装置，该装置具有结构合理、调节方便、测量参数多等特点，可在其上开展等离子体参数测量、等离子体激发机理研究等多项教学实验。

简介：文章利用CFD软件FLUENT中的自定义函数接口，将等离子体对中性气体的激励作用模型化为体积力引入Navier—Stokes方程，研究了等离子体气动激励诱导的平板射流，以及介质阻挡放电（dielectricbarrierdischarge，DBD）等离子体激励对NACA0015翼型大迎角分离流的控制作用．计算分析表明，多对电极等离子体激励器可以有效控制NACA0015翼型大迎角分离流动．

简介：夸克胶子等离子体（QGP）的热动力学行为可以通过其有效势能函数来进行研究。在高温极限下,我们可以通过微扰展开的方法来计算QGP的有效势能。另一方面,描述从普通强子相到夸克胶子等离子体相的退禁闭相变的序参量,即Polyakov圈的期望值可以由描述背景场的矩阵元给出。本文计算了在背景场中费米子有效势能的领头阶贡献,重点讨论了背景场的引入以及费米子的质量、化学势对有效势能的影响。

简介：简单介绍了激光剥蚀电感耦合等离子体质谱（LA-ICP-MS）的基本原理及装置。分别对LA-ICP-MS在飞秒激光器、紫外激光器、固液气溶胶混合进样、集合式小样品标样、原位统计分布技术上的技术新进展进行了详细的评述。最后对LA-ICP-MS在元素含量分析与空间分布分析中所占的地位及其应用前景进行了展望。

简介：为了加快激光等离子体微推进技术（μLPP）在航天领域的应用,介绍了该项技术近10年的发展状况。讨论了激光等离子体微推进技术发展过程中衍生出的各种工作模式,并简略分析了不同工作模式的优缺点。着重介绍了靶特性对激光微推进性能的影响,包括靶材的选择、靶的结构、靶材掺杂,以及靶物相特性等。针对该项技术的最终发展目标是研制微小卫星姿轨控的激光等离子体微推力器（μLPT）,介绍并分析了美国Phipps小组开展的激光微推力器的研制工作。最后,指出了激光等离子体微推进技术目前存在的一些问题,并展望了它的发展前景。

简介：用纳米结构粉末做喂料进行喷涂，缩短了颗粒熔化时间，在有限的飞行时间内，颗粒熔化效果更好，从而制备的涂层孔隙率更小，表面更平整。用ZrO2纳米结构喂料制备了等离子喷涂层，研究了功率、粒度、氧化钇含量等工艺参数条件下涂层的微观组织、孔隙率、相组成及抗热震性能。经X衍射分析表明，原始粉末由m-ZrO2,t-ZrO2,c-ZrO2构成，单斜相的含量为11％，主要由四方相和立方相构成。

简介：脉冲电晕等离子体处理烟道废气（PPCP法）属于干法脱硫；流程简单；能同时脱硫脱硝；产物是肥料，可实现资源的循环利用；无二次污染；工程造价和运行成本低等优点。但由于脉冲电晕等离子体反应器在短脉冲电压的作用下阻抗变化的复杂性，使得脉冲能量难以有效注入反应器，导致能量注入效率低和脉冲电源关键器件的寿命缩短，因此，研究能量注入效率非常重要。

简介：模拟了0.14THz相对论返波管中电子束与氩气相互作用产生等离子体的过程.研究了在不同气压条件下,等离子体对相对论返波管的输出功率、频率以及起振时间的影响.模拟结果表明,等离子体背景能引起太赫兹波段真空电子器件脉冲缩短,并出现新的频率分量;适当的注入等离子体能减少0.14THz相对论返波管的起振时间,提高器件的输出功率.