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  • 简介:用改进的溶胶一凝胶法制备光滑致密的预晶化铈(Ce)和锰(Mn)共掺钛酸锶钡(CeMn—SST)薄膜。电容-电压曲线表明,随着薄膜厚度的增加,综合介电性能大幅度改善,8层薄膜显示介电常数约为1300、低于0.007介电损耗、高于58%调谐率及接近180优质因子等优化介电性能,为主要沿(1101晶面层状生长的钙钛矿结构。

  • 标签: BST薄膜 铈和锰共掺杂 介电调谐性能 改性机制 溶胶-凝胶法