简介:摘要:随着微波电路、微电子器件、半导体集成电路向大功率、小型化、轻量化、高密度组装化、低成本、高性能和高可靠性的方向发展,对半导体芯片组装工艺提出了更高的要求。传统的半导体芯片组装工艺中,通常采用金 -硅共熔焊的合金贴装,或采用导电胶类粘结剂贴装。合金钎焊时存在热应力大,易造成半导体及其他元件因热膨胀系数不匹配,导致焊缝、接口、支撑件甚至整个组件失效,且合金粉末的松动颗粒在苛刻工作环境下易造成器件短路;导电胶类粘结剂则存在器件在使用过程中由热疲劳效应引起粘结强度逐渐减弱的问题,使所粘结的芯片开裂脱落,导致器件失效。