简介:在研发一套基于0.18μm工艺的全新半导体芯片时,由于芯片工艺的要求我们将标准0.18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN+SION改为SIN,但却引进了PID(等离子体损伤)的问题。当芯片的关键尺寸减小到0.18μm时,栅氧化层变得更薄,对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变,于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤,因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化,使得PID处于可控范围内,保证了量产的芯片质量。
简介:广播系统保证服务质量(QoS)并有效地把内容向广大的观众播出.而通信网络系统所具有的灵活性,能播出个性化内容来满足每一个观众喜好。NHK一直致力于技术和服务的开发.以把广播和通信结合起来:同时考虑它们的互补性,也就是说.向广大观众高效播出高质量的内容且根据用户各自喜好分发定制的服务。
简介:2012年6月下旬,为进一步拓展拉丁美洲市场,西班牙卫星运行商Hispasat公司与美国轨道科学公司签署了建造两颗新一代通信卫星Amazonazs4A/4B的订购合同;以色列卫星运营商Spacecom公司宣布,已选定本国卫星制造商以色列航空航天工业有限公司建造一颗Ka/Ku波段大型通信卫星Amos6,以服务于非洲、中东、中欧、东欧等地区。5月底,美国私营企业探索技术公司(SpaceX)与全球最大的固定卫星服务运营商Intelsat有限公司签署了Falon重型火箭的首个商业发射合同,标志着Falcon重型商用卫星发射市场。6月21日,俄美合资的国际发射服务公司(ILS)宣布,已经与香港亚洲卫星有限公司签署了一项Asiasat新卫星的发射服务合同。