简介：在研发一套基于0．18μm工艺的全新半导体芯片时，由于芯片工艺的要求我们将标准0．18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN＋SION改为SIN，但却引进了PID（等离子体损伤）的问题。当芯片的关键尺寸减小到0．18μm时，栅氧化层变得更薄，对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变，于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤，因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化，使得PID处于可控范围内，保证了量产的芯片质量。

简介：12月12日，无锡市政府宣布，无锡获工业与信息化部批复．成为国家TD-LTE（4G）扩大规模试验15个试点城市之一，这也是继南京之后江苏省的第二个4G试点城市。

简介：12月10日，无线网络安全技术（WAPI）国家工程实验室在国家高新技术开发区西安软件园揭牌，并誓言将更多有关无线网络安全技术的标准争取成为国际标准。中国无线局域网安全强制性标准，主要是因为目前通用的WIFI存在安全隐患，因此，我国提出WAPI。以便加强无线局域网的安全性问题。

简介：国家广播电影电视总局科技司对以下申请入网的广播电视设备生产单位和产品分圳组织实施了质量体系检查和性能测试，均符合入网规定要求，经审查批准，特颁发国家广播电影电视总局广播电视设备器材认定证书。请各级广播电视机构的工程建设和使用维护部门，严格按照广电总局的规定选用入网设备。

简介：国家广播电影电视总局科技司对以下申请入网的广播电视设备生产单位和产品分别组织实施了质量体系检查和性能测试,均符合入网规定要求,经审查批准,特颁发国家广播电影电视总局广播电视设备器材认定证书。请各级广播电视机构的工程建设和使用维护部门,严格按照广电总局的规定选用入网设备。

简介：1发达国家和地区的重大战略规划与支持政策及其特征集成电路产业作为电子信息技术的基础性产业，世界发达国家和主要地区都将其视为国家战略性产业对待，并对其发展采取重大举措以支持。下面我们以美国、日本、韩国和中国台湾地区为例来分析。

简介：为更好地应对局部自然灾害及突发事件情况下的通信问题，加强国家电网在自然灾害、重大政治活动及公司重大活动现场的移动应急指挥通信保障能力，解决各级指挥中心与应急现场远程通信联络需要．各个电力系统都对存在着建设应急通信系统的需求。

简介：由中国联合网络通信有限公司与中国科学院计算技术研究所联合申报的国家科技重大专项“无线局域网与蜂窝移动通信网络融合技术研究与验证”课题于2012年5月25日在重庆联通进行了内部检查与验收工作。联通集团技术部张忠平总经理、王明会处长、邢建兵博士后，集团研究院童晓渝副院长、张云勇处长、房秉毅博士、徐雷博士，信产部数据检验中心朱小舟副总经理、王卫东副总工程师，中科院数据所王煜炜，重庆联通吴在学副总经理、网络建设部金勇副总经理以及相关技术人员参与了本次验收。

简介：金秋送爽，九月的新疆正是天高云淡，秋高气爽；此时的乌鲁木齐更是花木争艳，瓜果溢香。就在这金秋收获的季节，由工业和信息化部人才交流中心、中国计算机用户协会指导，由《UPS应用》杂志社现代数据中心基础设施培训中心和新疆阳光电通科技有限公司主办的“中国UPS供电系统与机房建设管理论坛暨国家专业技术人才知识更新工程供电系统认证工程师培训班”于2012年9月22日至23日在新疆乌鲁木齐石河子大厦和野马国际酒店成功举办。