简介：为了使离子注入沉积信号发生器具有更好的抗干扰性和便捷性,利用PLC本身的高抗干扰性和触摸屏的操控便捷性,应用到信号发生器中,依靠PLC的脉冲输出功能和高速计数功能以及触摸屏的通讯功能进行脉冲的输出和参数的调控工作.研制出的信号发生器满足两路高速脉冲输出-主弧脉冲和偏压脉冲,实现主弧脉宽、偏压脉宽、周期及延迟时间4个参数微秒级的控制,最终设计的PLC与触摸屏可以正常工作且已经应用至信号发生器中作为信号的输出源.
基于PLC与触摸屏的离子注入沉积信号发生器的设计与实现
