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核技术及应用
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LIGA工艺
制造
微驱动马达的初步研究
作者：
刘刚;伊福廷;等
学科：
核科学技术
>
核技术及应用
创建时间：1998-01-11
出处：
《北京同步辐射装置年报》
1998年第1期
简介：
标签：
LIGA工艺
微驱动马达
同步辐射
深度X射线光刻
全文阅读
北京同步辐射装置—BSRF的通用仪器和
设备
作者：
学科：
核科学技术
>
核技术及应用
创建时间：2000-10-03
出处：
《北京同步辐射装置年报》
2000年第B06期
简介：
标签：
北京同步辐射装置
BSRF
设备
切片机
X射线实验室
扫描电子显微镜
全文阅读
LIGA工艺
制造
微驱动马达的初步研究
LIGA工艺
制造
微驱动马达的初步研究
北京同步辐射装置—BSRF的通用仪器和
设备
北京同步辐射装置—BSRF的通用仪器和
设备
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