简介：为了解决不同厚度下平行平晶的多表面干涉效应对光学元件面形检测的影响,提出了基于波长移相调谐原理的多表面干涉面形检测方法。根据波长移相调谐原理,推算出不同厚度下被测元件与测试腔长的比例关系,通过对多表面干涉图进行离散傅里叶变换,进而提取出平行平晶前后表面面形的相位信息。实验结果表明：与ZYGO公司GPI干涉仪测量结果对比,厚度分别为10mm和40mm的两块平行平晶,测试结果偏差很小,验证了算法的有效性。
简介：基于CCD图像测量技术，设计了一种利用CCD成像系统检测火车轮对几何尺寸的非接触在线测量系统。并给出了系统的结构及原理。激光束垂直入射到火车车轮上，再用透镜将火车车轮上的激光光疯成像到CCD上。当火车车轮产生磨损时，CCD上激光光斑的像也将发生位移。通过对CCD上弥散斑中心位移的测量，就可精确计算出火车车轮的磨损量。
基于波长移相调谐的多表面干涉研究
CCD大范围轴向位移量检测研究
