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  • 简介:日本松下技术研究公司研制出把si超微粒子作为激活区的室温可见发光器件。在真空稀有气体中进行以单晶si为靶的脉冲激光沉积,在基板上以层状沉积气相生长的si超微粒子,然后进行热氧化,形成被表面氧化膜所覆盖的Si超微粒子聚合体。

  • 标签: si超微粒子 发光器件 室温 激活区 热氧化 发光强度