简介：介绍了在软Ｘ－射线显微术研究领域中有重要应用的Ｓｉ３Ｎ４薄膜窗口的实验室制作方法，并形成一套独特制备工艺，Ｓｉ３Ｎ４薄膜窗口的研制成功推动了我国软Ｘ射线显微术研究的发展。
软X射线显微术Si3N4薄膜窗口的研制
