简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限
简介:O644.197053496吩噻嗪在苯和环己烷中的光化学研究=Photochemicalreactionofdibenzothiazineinbenzeneandcyclohexane[刊,中]/王素华,陈德文,郭建新,王皓(中科院化学所分子动态与稳态结构国家重点实验室.北京(100080))//科学通报.—1996,41(23).—2159—2161用ESR方法研究了吩噻嗪在氧化饱和的非极性溶剂苯、环己烷中的光化学行为,并从理论上作了相关计算,这对于探索氧在吩噻嗪的光物理化学过程中的作用有重要意义。图1表1参7(方舟)O644.197053497光催化氧化后四环素的分解率与COD去除率之间关