简介:O47296032017ZnO/SnO2双层膜的结构及敏感特性研究=Astudyonstructureandgas-sensitivecharacterofZnO/SnO2bilayerfilm[刊,中]/娄向东(河南师范大学化学系.河南,新乡(453002)),沈荷生,沈瑜生(中国科技大学材料科学与工程系.安徽,合肥(230026))//传感技术学报.-1995,(2).-20-23将SnO2及ZnO粉末压制成靶材,采用溅射法制备了ZnO/SnO2双层薄膜,用XPS,XRD、SEM等手段对制得的薄膜进行分析测试,发现双层膜表面有一定量的吸附氧存在,双层膜中锌、锡有一定的相互扩散,比较了单层SnO2及ZnO膜与双层膜的气敏特性,结
简介:近年来,采用直线电机驱动超精密加工机床定位轴的直线运动方案,由于无中间环节的弹性变形、间隙、磨损和发热等因素带来的运动误差,具有定位精度高、响应速度快、低速性能好等特点,已成为国内外数控机床产品新的技术发展方向。为了正确利用直线电机,本文在扼要介绍永磁无刷直线直流电机工作原理的基础上,阐述了正确选择永磁无刷直线直流电机的方法,并给出了实例。