简介:摘要分析了金刚石线切割硅晶片的表面形貌和断裂性能,并在此基础上探讨金刚石线切割原理以及一些技术挑战。金刚石线切割具有表面粗糙度低,硅片厚度均匀等优点,但却存在断裂强度各项异性。与切割划痕垂直方向的力学性能很高,然而与划痕平行方向的力学性能较低,这种性能差异是由表面单方向裂纹引起的,其裂纹的产生又与切割机理密切有关。金刚石线切割属于二体磨料磨损,其切割方式通常为塑性划痕,加之有少量脆性剥落。由于切割线的柔性,以及金刚石磨粒大小、形态、及分布的差异,切割过程则会出现切割的不连续性和不稳定性,并由此引起一些较大的表面裂纹。此外,划痕沟槽局部还会出现非晶态结构。提高金刚石线切割性能应从切割线磨粒角度来考虑。
简介:摘要金刚砂整体耐磨地坪具有表面硬度高、密度大、耐磨、不生灰尘、不易剥离、经济、适用、范围广等特点。采用软木板及小型固定件留设伸缩缝方法适应金刚砂整体耐磨地坪大面积施工的需求,解决整体耐磨地坪的表面平整度控制难题,同时克服了混凝土基层整体浇筑后锯切伸缩缝所带来的温度裂缝、沉降变形裂缝。