简介：对金刚石薄膜成膜及应用技术进行研究，探讨金刚石薄膜在轴承行业应用的可能性。通过对金刚石薄膜成膜工艺的研究，认为轴承表面金刚石固体润滑膜宜采用物理气相沉积（PVD）工艺，该工艺沉积温度较低，镀膜后，不会改变轴承材料组织及性能，轴承精度基本不受损失。所得到的金刚石膜为类金刚石膜，具有膜面平整光滑、摩擦系数低、耐磨损、耐高温、耐腐蚀、薄膜与基体结合力较强等优良性能，能够满足特殊工况轴承固体润滑需要。同时进行了金刚石薄膜性能测试与评价技术的研究。
金刚石薄膜在轴承行业的应用研究
