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Athermal 4-channel （de-）multiplexer in silicon nitride fabricated at low temperature

作者： SHIQI TAO;QINGZHONG HUANG;LIANGQIU ZHU;JUN LIU;YINGLU ZHANG;YING HUANG;YI WANG;JINSONG XIA
学科：理学 > 物理
创建时间：2018-07-17
出处：《光子学研究：英文版》 2018年第7期

简介：Wehavedesignedandrealizedanathermal4-channelwavelength（de-）multiplexerinsiliconnitride（SIN）.Minimizedthermalsensitivityisachievedinawidewavelengthrangebyusingwideandnarrowwaveguideswithlowanddifferentthermal-opticcoefficientsinthetwoarmsofMach-Zehnderinterferometers（MZIs）.TheSiNcorelayerandSiO2claddinglayersaredepositedbyalow-temperatureplasma-enhancedchemicalvapordep-ositionprocess.ThefabricatedMZIfilterexhibitsathermalsensitivitywithin4-2.0pm/℃inawavelengthrangeof55nmtonear1300nm.Then,anathermal（de-）multiplexerbasedoncascadedMZIshasbeendemonstratedwithacrosstalk〈-22dBandathermalsensitivity〈4.8pm/℃forallfourchannels,reducedby77%comparedtoaconventionalSiN（de-）multiplexer.OwingtothepassiveoperationandcompatibilitywiththeCMOSback-endprocess,ourdeviceshavepotentialapplicationsin3Dintegrationofphotonicsandelectronics.
标签：氮化硅通信技术发展现状材料学

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