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  • 简介:利用核反应^30Si(n,γ)^31Si→β^-^31P,硅可以被掺磷。其电阻率被定在2-200Ω·cm之间的值,测得的电阻率分布情况表明,掺杂剂的宏观均匀分布。从二极管发射出的击穿辐射照片证明,这种硅还具有电阻率的微观起伏呈无条纹状分布的特点。这种均匀掺杂硅制备的二极管和晶闸管具有400~5200V的电压阻断容量。

  • 标签: 核反应掺杂硅 电阻率均匀 无条纹 二极管 晶闸管 阻断容量