简介：摘要：多晶硅的生产是半导体行业的重要环节之一。本论文对比了多晶硅精馏的两塔流程与隔壁塔的单塔流程，从工艺流程、能耗、产品质量等方面进行了深入研究和比较。结果表明，在某些条件下，两塔流程相对于单塔流程具有一定的优势，但也存在一些限制。通过本文的研究，可以为多晶硅生产过程的优化提供一定的参考。
多晶硅精馏两塔流程和隔壁塔单塔流程对比
