简介:摘要:激光干涉仪作为以激光光波为已知长度,利用迈克尔逊干涉仪系统测量位移的现代化机器设备,在机械加工生产中占据重要作用。本文在了解单频激光干涉仪和双频激光干涉仪的基础上,通过对比分析掌握实际应用内容,并明确实际测量精度。
单频激光干涉仪与双频激光干涉仪实际测量精度的比较