简介：摘要微静电斥力致动器由固定指端和移动指端组成，由于两层指端的边界结构复杂，建立的分析模型也非常复杂，其中主要是由于指端结构参数与电容的影响。本文利用保角变换技术建立了MEMS反射镜静电斥力致动单元电容的解析模型，该模型的给出能简化模型中的电容变量，为下一步力的建模求解提供便捷。
MEMS反射镜静电斥力致动单元电容建模
