简介：摘要近年来，随着新材料、新工艺、新技术不断引入到MEMS传感器研究中，涌现出大量不同工作原理的压力传感器，例如电阻应变片传感器、压阻式传感器、电感式传感器、电容式传感器、谐振式传感器、硅蓝宝石传感器及光纤传感器等等。其中基于MEMS工艺的压阻式传感器具有灵敏度高、响应速度快、可靠性好、精度较高、低功耗、易于集成化与微型化等突出优点，越来越广泛地应用于汽车电子、冶金、石油化工、动力机械、地质及地震测量领域中，是当今高新技术装备中十分重要的电子产品。在一些环境严酷且关乎人身安全的应用场合，传感器的可靠性技术是使用者最关心的问题之一，也是传感器能否大规模实用化的关键技术之一。
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