简介:摘要 :本文主要对激光干涉仪在校准测长机示值误差的校准方法进行研究分析,介绍了校准中干涉仪的安装及测量原理,通过分析得出在校准中热膨胀系数及阿贝误差容易产生较大的误差,并说明怎样减少该误差。
激光干涉仪在校准测长机示值误差 中的应用