简介：摘要：半导体产业的迅速发展对芯片测试系统及其直线工作台提出了更高的要求，其性能直接影响测试数据的准确性。本文介绍了芯片测试系统直线工作台的结构组成，利用有限元软件ANSYS对直线工作台的关键部件滚珠丝杠进行了模态分析，为芯片测试系统直线工作台的结构优化设计和动态性能研究提供了重要的参考数据和方法。
芯片测试系统直线工作台动态性能研究
