简介：摘要：随着现代科学技术的不断发展，设备制造技术变得更先进的时间和设备的结构越来越复杂。因此，半导体设备维修技术面临前所未有的挑战，也对半导体设备维修人员的经验提出了更高的要求。半导体设备后的维修和预防性维护和预测性维护技术失败的总结，相关分析，因为预测维护技术作为一种新的发展方向，该中心的维修技术也已成为维护和的方法相比其他维护传统的新方法，有更多的优点及长处，我们需要其从空间和实用性的长远发展。
半导体设备预测性维修技术
