简介：摘要：本文研究了在气体总量、氨气与硅烷流量比、压力、射频功率、温度、淀积时间等工艺参数下，制备出不同折射率氮化硅薄膜对电池转化效率的影响，从而调试出氮化硅薄膜的最佳折射率，从而将电池的转化效率达到最大化，进一步提升经济效益。
IBC电池折射率对转化效率影响的工艺技术研究
