简介：随着超大规模集成电路工艺的高速发展,特征尺寸越来越小,而静电放电（ElectrostaticDischarge）对器件可靠性的危害变得越来越显著。因此,静电放电测试已经成为对器件可靠性评估的一个重要项目。I/V特性扫描是静电放电试验中必不可少的一环。文章介绍了I/V特性扫描的目的、波形、程序、扫描过程中遇到的问题和应用。
I/V特性扫描在静电放电试验中的应用
