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辉光放电激发光源模拟仿真研究

作者：武佳1 王海云2 刘少锋2
学科：电气工程 > 电力系统及自动化
创建时间：2022-09-05
出处：《当代电力文化》 2022年第10期
机构：河北大学电子信息工程学院保定 071002

简介：摘要：本文利用COMSOL Multiphysics数值模拟软件对辉光放电激发光源的放电空间进行数值模拟仿真，在仿真过程中进行了详细的参数设置，最终得到放电空间的电子密度分布云图。可以观察到，放电空间中心区域等离子体密度较低，这将导致无法均匀平整地对样品进行激发。根据该仿真结果，在后续研究中需要针对这种现象提出相关改善方法，以保证辉光放电发射光谱仪较高的层间分辨率。
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