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以YSZ代替SiO
2
可使器件更小
作者：
杨英惠
学科：
一般工业技术
>
材料科学与工程
创建时间：2002-09-19
出处：
《现代材料动态》
2002年第9期
简介：
标签：
YSZ
SIO2
钇稳定氧化锆
二氧化硅薄膜
电子器件
小型化
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以YSZ代替SiO
2
可使器件更小
以YSZ代替SiO
2
可使器件更小
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