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Aluminum film microdeposition at 775 nm by femtosecond laser-induced forward transfer

简介：Micro-depositionofanaluminumfilmof500-nmthicknessonaquartzsubstratewasdemonstratedbylaser-inducedforwardtransfer(LIFT)usingafemtosecondlaserpulse.Withthehelpofatomicforcemicroscopy(AFM)andscanningelectronmicroscopy(SEM),thedependenceofthemorphologyofdepositedaluminumfilmontheirradiatedlaserpulseenergywasinvestigated.Asthelaserfluencewasslightlyabovethethresholdfluence,thehigherpressureofplasmaforthethickerfilmmadethefreesurfaceofsolidphaseburstout,whichresultedinthatnotonlythesolidmaterialwassputteredbutalsothedepositedfilmintheliquidstatewasmadeirregularly.
标签：飞秒激光激光诱导向前转移过程铝膜微沉积

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