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  • 简介:采用溶胶-凝胶工艺制备了MgO薄膜.X射线衍射谱显示,随热处理温度升高,薄膜结晶质量提高;原子力显微镜观测也得到相同结果,且随热处理温度升高,薄膜表面粗糙度增加.

  • 标签: 溶胶-凝胶 MgO薄膜 结构 形貌