简介：摘要：半导体和太阳能行业的快速发展，三氯氢硅业就变为重要的原料被广泛应用。在它生产过程中产生的副产物氯硅烷废液含有多种有毒有害物质，对环境和人体健康构成威胁。基于这样的现状针对氯硅烷废液处理的研究进展，包括物理法化学法生物法等多种处理技术，并对各种方法的优缺点进行了比较分析。还探讨了未来处理技术的研究方向，就是为了给相关企业和研究机构做出贡献，促进工业废液处理的可持续发展。
三氯氢硅副产物氯硅烷废液的处理方法研究
