简介：采用真空蒸发法制备相同厚度的PbTe薄膜，再利用RF磁控溅射法在上面制备不同厚度的Ag反射膜，采用XRD、SEM、FTIR和四探针法分别对制备样品的物相组成、表面形貌、透射率和电阻率进行测试，结果显示，所制备的薄膜具有明显的〈100〉方向择优取向，呈多晶结构，随着反射膜厚度的增加，薄膜结晶性能先降低后增加；晶粒尺寸增加，表面粗糙程度先降低后增加；薄膜光学性能在一定膜厚范围内，随着反射膜厚度的增加透射率降低，超过一定膜厚时，透射率降为零；随着反射膜厚度的增加，电阻率呈先急剧降低后缓慢降低的趋势。
Ag反射膜厚度对PbTe热电薄膜性能的影响
