简介：摘要：本文旨在探讨集成电路制造工艺的最新进展与未来趋势。随着科技的发展，集成电路技术已成为推动现代信息技术发展的核心力量。从纳米级制程到新材料应用，集成电路制造工艺不断突破极限，提高了芯片的性能和集成度。本文将详细介绍集成电路制造工艺中的光刻、蚀刻、离子注入等关键技术，以及极紫外光刻、堆叠晶体管等新兴技术，为相关领域的研究和产业发展提供参考。
简介：摘要：功率集成电路是集成电路一个重要的支系，作为系统控制要素弱电与执行要素强电的纽带，在电子技术、智能控制、电器通信、车用电子等方面起着极其重要的作用。功率集成电路中的高压器件因为高压电流的性能需求始终是研究开发功率集成电路中的核心与难点，并直接关系到功率集成电路的发展。基于此，本文首先对功率集成电路高压器件进行了简单的介绍，并就功率集成电路中高压器件的设计展开了论述，最后对功率集成电路的未来发展趋势进行了分析。
集成电路制造工艺探析
功率集成电路中高压器件的研究及设计
