简介：采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片，简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求，板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床，该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16．5g／（cm^2·s），分解效率为97％，室压粗糙度小于2％。
光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用
