简介：摘要：在现代科技领域，传感器技术扮演着至关重要的角色，其中，MEMS加速度传感器和压电式加速度传感器以其独特的性能特点被广泛应用于各个领域。本文将对这两种传感器的原理进行阐述，同时探讨压阻式和电容式加速度传感器的失效模式与失效机理，并给出避免失效的方法。
简介：摘要：在现代科技的快速发展中，微型机电系统（MEMS）加速度传感器因其微小体积、高灵敏度及低能耗等特点，广泛应用于智能手机、自动驾驶、航空航天等领域。然而，随着应用场景的日益复杂，MEMS加速度传感器在复杂应力环境下容易出现失效问题，这给相关应用带来了极大的挑战。因此，本文将对MEMS加速度传感器在复杂应力下的失效问题进行深入的分析，并提出相应的可靠性提升策略。
简介：摘要：本文主要探讨了高低温环境对三轴高g值加速度传感器灵敏度变化的影响。通过建立两端固支的敏感单元数学模型，得到了传感器灵敏度与敏感单元纵向应力、横向应力的关系；通过热-力耦合仿真分析得到了传感器灵敏度与温度间的关系；通过传感器高低温试验得到高低温环境下传感器灵敏度数据。
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