简介：相对于宏观机械系统，微电子机械系统（Micro—Electro—Mechanical．Systems，MEMS）器件的特征尺寸和性能对于设计参数的变异（通常是由于加工误差引起的）更敏感。因此在MEMS器件设计阶段引入稳健（robust）设计可以有效抑制产品性能的波动。
简介：利用最小二乘法进行线性数据拟合在一定条件下存在着误差较大的缺陷，为使线性数据拟合方法在科学实验和工程实践中能够更加准确地求解量与量之间的关系表达式，本文通过对常用线性数据拟合方法——最小二乘法进行了误差分析，并在此基础上提出了最小距离平方和法以对最小二乘法作改进处理．最后，通过举例分析对两种线性数据拟合方法的优劣加以讨论并分别给出其较为合理的应用控制条件．
稳健设计在微机械陀螺结构参数设计中的应用
线性数据拟合方法的误差分析及其改进应用
