简介：摘要：多光谱TDICCD具有TDI和多光谱探测的特点，根据目标景象光的强弱，通过调节器件的TDI级数，可获得相应光强下目标最佳图像，其图像信息既包括全色图像信息，也包括多谱段彩色图像信息，能满足卫星系统获取高分辨率、高灵敏度丰富图像数据能力的要求，本文针对多光谱TDICCD光谱响应一致性工艺技术进行了研究。通过创新开展膜系仿真设计，突破多晶硅高精度淀积、高均匀性掺杂、高均匀性线宽控制等工艺技术，提升器件光谱响应一致性。研究结果表明：多晶硅高精度淀积、高均匀性掺杂、高均匀性线宽控制等工艺控制，能有效提升器件的光谱一致性。
多光谱TDICCD光谱一致性技术研究
