AFM定位系统动态误差补偿方法研究

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摘要 原子力显微镜(AFM)是进行纳米测量和操作的重要工具。针对力测量过程中AFM定位系统的测量速度慢和窄带等问题,基于逆系统的迭代学习控制思想,设计一个前馈控制环节,补偿AFM定位系统中z轴方向上动态特性非线性影响。通过在一定带宽内对期望输入信号进行轨迹跟踪,使激励力(通过悬臂梁)无失真地施加在样本上,达到AFM准确测量的目的。该方法不仅拓宽了系统频带,而且提高了系统输出对期望输入的跟踪精度。
机构地区 不详
出处 《纳米科技》 2010年4期
出版日期 2010年04月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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