极紫外Mg/siC双功能多层膜反射镜的设计

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摘要 根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求,设计了极紫外Mg/SiC双功能多层膜反射镜,并分析了粗糙度、膜厚精度和光学常数变化对反射率的影响。结果表明:5°入射的双功能多层膜反射镜在30.4nm和58.4nm处的反射率分别大于41%、小于0.209/6。
机构地区 不详
出处 《上海电机学院学报》 2010年4期
出版日期 2010年04月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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