摘要
摘要：目的：分析在半导体生产环境中，优化空气质量控制和节能设计以实现提升生产效率和降低能源消耗的目标。方法：分析当前生产环境中的空气质量控制要求，引入动态冷却、变频控制通风系统、能源管理系统以及废热回收技术，对生产流程进行全面优化。结果：优化方案在确保高标准空气质量时，将整体能耗降低约 17%，设备使用寿命延长，年能源费用节省超过 500 万元，显著提升了生产效率和经济效益。结论：合理的空气质量控制与节能设计的结合，不仅能够有效降低半导体生产中的能耗，还能提升设备的稳定性与使用寿命，为企业的可持续发展提供强有力的支持。
出版日期
2024年09月03日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
