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高精度微细加工技术在电子器件制造中的应用

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摘要摘要

DOI 6jrvv0kgwd/8595615

作者邵永山150426198708120513

机构地区不详

出处《科技新时代》 2024年12期

关键词高精度微细加工，电子器件制造，光刻技术，微机电系统，半导体

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年08月26日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

科技新时代

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高精度微细加工，电子器件制造，光刻技术，微机电系统，半导体

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