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多晶硅金属杂质ICP检测方法改进研究

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摘要摘要：本研究旨在改进多晶硅金属杂质的ICP检测方法，以提高检测准确性和效率。通过优化样品预处理步骤和ICP检测条件，改进了传统方法中存在的一些局限性。实验结果表明，新方法在提高金属杂质检测灵敏度的同时，还能有效降低背景干扰，提高检测结果的可靠性。这一改进为多晶硅生产过程中的质量控制提供了可行性，并有望在其他金属杂质ICP检测领域推广应用。

DOI lj1e7p8lrd/8161792

作者王瑞李欢欢

机构地区 1.新疆新特新能材料检测中心有限公司 2.新疆新环监测检测研究院

出处《科技新时代》 2024年3期

关键词多晶硅金属杂质 ICP检测改进可靠性

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年04月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）